Метилсилан

• Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:

${\displaystyle {\mathsf {2SiH_{3}Cl+Zn(CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow {}}\ 2CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+ZnCl_{2}}}}$

• Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:

${\displaystyle {\mathsf {4CH_{3}{\text{-}}SiCl_{3}+3Li[AlH_{4}]\ {\xrightarrow {}}\ 4CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+3LiCl+3AlCl_{3}}}}$

• Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:

${\displaystyle {\mathsf {3CH_{3}{\text{-}}SiH(OCH_{2}CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow {}}\ CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+2CH_{3}{\text{-}}Si(OCH_{2}CH_{3})_{3}}}}$

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

• Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:

${\displaystyle {\mathsf {CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}\ {\xrightarrow {T}}\ CSi+3H_{2}}}}$

• Реагирует с галогенами:

${\displaystyle {\mathsf {CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+Cl_{2}\ {\xrightarrow {}}\ CH_{3}{\text{-}}SiH_{2}Cl+HCl}}}$

• Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.

• Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5.